冷鏡露點儀具有精度高、量程廣、價格便宜等優點，適用于鋼鐵、石化、干燥箱、制藥烤箱、環境測試、校準實驗室、噴漆室、過程氣監測及氣體生產等領域。冷鏡露點儀以的工業微型冷卻器作為冷源，無需輔助制冷，彌補了傳統冷鏡式露點儀在環境溫度30℃以上時表現不佳，輔助制冷器體積大等缺陷，基于工業微型冷卻器快速穩定的制冷能力，冷鏡露點儀采用精密巡檢式冷鏡測量法，該測量法相較于傳統平衡式測量法，在保證測量精度的同時縮短了測量周期，降低了測量過程中的氣體損耗。

冷鏡露點儀是一臺以微處理器為基礎的智能型儀表，能夠快速、自動、準確地測量樣品氣體露點及水分含量，并可進行數據處理和存儲等，當輸入壓力參數時，該儀表可自動測量并顯示ppm的對應值。其顯示部分能夠顯示氣體中的含水量、露點、工作狀態等信息，并能通過按鍵任意選擇顯示內容。儀器使用了“加速預判”技術和快速干燥測量單元，從空氣濕度環境測量至-70oC露點能在10分鐘之內完成。

冷鏡露點儀的阻容法是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優點是響應速度非常快，從干到濕響應一分鐘可達90%，冷鏡露點儀因而多用于現場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。老化和漂移嚴重，使用3~6個月必須校準。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩定度大大提高，通過對傳感器響應曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。